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更新時間：2025-08-18
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產品簡介：VPS-RF05是一款小型桌面型真空等離子處理儀，其原理是在真空狀態下（約10~100pa），給氣體施加電場，氣體在電場提供的能量下會由氣態轉變為等離子體狀態（也稱物質的“第四態"），其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子，比通常的化學反應所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反應。通過利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發生物理或化學的反應，從而達到改變材料表面性質的目的。
等離子處理系統特點：進口等離子電源電路技術、放電結構，確保等離子體均勻分布。
等離子處理系統應用：去除表面有機物、提高粘接性、提高表面潤濕性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度。
產品參數：
型號 | VPS-RF05 |
頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
功率 | 0-200W連續可調 |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼 |
腔體容積 | 5L |
腔體尺寸 | Φ150（直徑）×280（D） |
有效處理面積 | 140（W）*250(D)mm |
氣體流量控制器 | MFC 質量流量控制器 |
氣路數量 | 2 路氣體，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐蝕性氣體需定制） |
真空測定系統 | 皮拉尼真空硅管 |
極限真空度 | 1Pa |
控制方式 | 4.3寸觸摸屏+PLC |
真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
電源供應 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
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